主に粉体や板状試料の組成同定が迅速にでき、ある程度の微量試料（粉体）も分析が可能です。
＊主な測定項目
・組成同定
・残留オーステナイト
・残留応力
・正極点　逆極点
・結晶サイズ
・配向度

　
金属をはじめ半導体、高分子、ガラス、セラミックス、粉体触媒、複合材料等の極表層（数十オングストローム）の分析データを提供致します。
＊主な測定項目
　極表層分析（50オングストローム）
　深さ方向分析
　定量分析　波形分離